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resumen

Abstract
En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, [ver mas...]
 
In the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers manufactured through wet etching technique was studied. The influence of different control factors such as voltage, temperature and braking agent on the specific characteristics of formation was evaluated. An exhaustive analysis of the evolution of electric currents during the fabrication made possible to standardize the process and determine the [ver mas...]
 
dc.contributor.authorDer, Manuel
dc.contributor.authorOlmos, Carol
dc.contributor.authorRosero Yanez, Gustavo Iván
dc.contributor.authorSantizo, Itzel
dc.contributor.authorFernandez, Tamara
dc.contributor.authorDieguez, Maria Jose
dc.contributor.authorSacco, Francisco
dc.contributor.authorGranell, Pablo
dc.contributor.authorGolmar, Federico
dc.contributor.authorLerner, Betiana
dc.contributor.authorLasorsa, Carlos
dc.contributor.authorPerez, Maximiliano
dc.date.accessioned2019-02-18T17:27:38Z
dc.date.available2019-02-18T17:27:38Z
dc.date.issued2018-07
dc.identifier.issn1517-7076
dc.identifier.other10.1590/S1517-707620180002.0461
dc.identifier.urihttp://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/20.500.12123/4461
dc.description.abstractEn el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado.es_AR
dc.description.abstractIn the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers manufactured through wet etching technique was studied. The influence of different control factors such as voltage, temperature and braking agent on the specific characteristics of formation was evaluated. An exhaustive analysis of the evolution of electric currents during the fabrication made possible to standardize the process and determine the pore-formation time, essential feature considering the exigent requirements of industry. Finally, it was concluded that optimum conditions for a controlled fabrication of pores correspond to a temperature of 84 ˚C, HCl as a braking agent and voltages of 0,1V, 0,5V and 1V respectively. The above results are of great importance in different fields, such as biology or medicine, in relation to the utility of pores as sensing devices.eng
dc.formatapplication/pdfeng
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidade Federal do Rio de Janeiropor
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesseng
dc.sourceMateria 23 (2): e-12127 (Julio 2018)
dc.subjectBiosensoreses_AR
dc.subjectBiosensorseng
dc.subjectSilicioes_AR
dc.subjectSiliconeng
dc.subject.otherMacroporoses_AR
dc.subject.otherMicroporeseng
dc.subject.otherMétodo Electroquímicoes_AR
dc.subject.otherElectrochemical Methodeng
dc.titleCaracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical methodes_AR
dc.typeinfo:ar-repo/semantics/artículoes_AR
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioneng
dc.description.origenInstituto de Genéticaes_AR
dc.description.filFil: Der, Manuel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina.es_AR
dc.description.filFil: Olmos, Carol. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Rosero Yanez, Gustavo Iván. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Santizo, Itzel. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Fernandez, Tamara. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Dieguez, María José. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Sacco, Francisco. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Granell, Pablo. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Golmar, Federico. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Lerner, Betiana. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Lasorsa, Carlos. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.description.filFil: Perez, Maximiliano. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentinaes_AR
dc.subtypecientifico


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