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Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
(Universidade Federal do Rio de Janeiro, 2018-07)En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la ...